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- 產品描述
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概述
GR-410系列激光劃片機，配置進口激光器，加工效率高，質量穩定， 設備簡單易操作；提供傳統矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式， 可升級提供六邊形劃切（三角形切割方式）。
全系列產品分為四款設備：
GR-410和GR-410Z兩款設備支持劃切產品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產品或晶圓背面制作標記圖形的產品。正面對準正面劃切，不支持 底部對準功能。
GR-410D和GR-410DZ兩款設備擁有獨特的雙光路系統，為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標方案。正面對準正面/背面劃切， 支持底部對準功能。
性能指標劃切參數
劃切對象
4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓
劃切方式
等距矩形切割，支持三角形切割（手動對準）
激光參數
光纖激光器，最大功率20W
劃切速度
W250mm/s
切割精度
±0.003mm
切割線寬
0.035-0.055mm
切割深度
<0.12mm
工作臺參數
工作范圍
220mm*200mm
工作臺分辨率
0.0005mm
旋轉電機行程
360° 185°
旋轉電機定位精度
30”
Z向定位精度
0.01mm
Z向激光調焦行程
20mm
其他
自動對位范圍
35mil-305mil
自動對位精度
0.01mm
外形尺寸 (WxDxH) mm
GR-410/GR-410D
760x1165x1650
GR-410Z/GR-410DZ
940x1165x1650
設備重重kg
GR-410/GR-410D
750
GR-410Z/GR-410DZ
800
產品特色
●底部對準
●背面打標
●自動上下料
●自動對位
